江州，启明防务技术研究院，地下二层。
光子工厂的基建工程正在疯狂推进。
为了隔离辐射，光源被安放在厚达两米的混凝土掩体中。而光刻机车间，在距离掩体50米之外的地方。
这意味着，这束宝贵的193nm激光，必须穿过一条长达50米的真空管道，经过至少8次反射，才能到达光刻机的曝光台。
第一次联调测试。
“光源功率：100W，发射！”丁院士下达指令。
掩体内的SSMB光源发出幽幽蓝光。
但在50米外的光刻机入口处，功率计的读数却让所有人倒吸一口凉气。
接收功率：0.5W。
损耗率：99.5%。
“光呢？”王海冰咆哮道，“99.5瓦的能量去哪了？被鬼吃了吗？”
“被镜子吃了。”张教授长春光机所拿着一片刚刚拆下来的反射镜，脸色惨白。
镜片中心，原本光洁的膜层已经发黑、起泡，仿佛被烟头烫过一样。
“林董，我们遇到了反射率灾难。”
“193nm光子能量太高。普通的铝膜反射率只有90%。经过8次反射，0.9的8次方，只剩下43%。”
“这还是理论值。实际上，镜片吸收了能量后发热，膜层结构破坏，反射率会进一步雪崩。”
“剩下的99.5瓦能量，全部变成了热，烧毁了我们的光学系统。”
林远看着那片废镜。
“我们需要更高的反射率。”
“多少？”
“99.9%。”张教授伸出三根手指，“少一个9，光就送不到。”
要做到99.9%的反射率，金属膜铝、银是不可能的，必须用全介质多层膜。
利用光的干涉原理，镀上几十层高折射率和低折射率交替的材料，让反射光叠加增强。
“材料选什么？”林远问。
“对于193nm，只能选氟化物。”张教授在白板上写下化学式，“氟化镧LaF3做高折射率，氟化镁MgF2做低折射率。”
“但是，氟化物有个致命弱点应力大，易裂。”
“我们要镀60层膜，总厚度3微米。这层膜的内应力，足以把基底玻璃拉弯，甚至直接崩裂。”
实验室里，IBS镀膜机再次启动。
“第一炉，60层LaF3/MgF2。”
出炉。
“咔嚓。”
镜片还没拿稳，膜层就像干裂的土地一样，碎成了一片片鱼鳞。
“张力太大了。”张教授摇头，“膜层想收缩，基底不让崩了。”
“那就反向补偿。”林远提出了方案。
“在镜片的背面，也镀一层膜！”
“这层膜不需要光学性能，只需要它的应力与正面膜层相反且相等。”
“正面拉，背面也拉。两股力抵消，镜片就平了。”
这需要极高的应力控制精度。膜厚误差不能超过1纳米。
经过二十次试镀，报废了价值上千万的镜胚后。
终于，一片双面镀膜的反射镜，完整地走下了生产线。
反射率测试：99.92%。
“过关了！”
解决了“吃光”的问题，接下来是“跑偏”的问题。
50米的距离。
这就像是在百米开外，用激光笔射中一只苍蝇的眼睛。
光束指向稳定性Pointing Stability要求：＜ 1微弧度μrad。
也就是说，光源端抖动1微米，到了50米外，光斑就会偏离好几毫米，直接打在墙上。
“林董，我们稳不住。”
负责机械结构的工程师指着地基震动监测仪。
“虽然我们做了隔振地基，但周围环境的震动太大了。”
“江钢的重卡路过、隔壁车间的冲压机、甚至50公里外的高铁经过，都会通过地壳传导过来微震。”
“这些震动频率在1Hz到100Hz之间。对于光路来说，这就是大地震。”
光斑在靶面上疯狂跳动，根本无法锁定。
“被动隔振弹簧、气垫没用。”汪韬看着数据，“低频震动隔不掉。”
“必须上主动稳像。”
林远下令。
“1. 传感器：在光路每一个转折点，安装PSD位置敏感探测器。实时捕捉光斑的偏移量。”
“2. 执行器：把反射镜座，换成压电陶瓷快速反射镜Fast Steering Mirror, FSM。”
“3. 算法：汪总，上盘古控制模型。搞一个高带宽闭环反馈系统。”
“当PSD检测到光斑偏了0.1微米，FSM要在0.1毫秒内，偏转0.001度，把光踢回去！”
系统搭建完毕。
FSM反射镜发出高频的“滋滋”声，它在以每秒1000次的频率微调角度，对抗着来自大地的震动。
“启动闭环控制。”
屏幕上，原本乱跳的光斑，突然像被钉子钉住了一样，死死地停在靶心中央。
这章没有结束，请点击下一页继续阅读！
喜欢官道红颜：她们助我一路升迁请大家收藏：(m.xtyxsw.org)官道红颜：她们助我一路升迁天悦小说网更新速度全网最快。