第一次试产,良率就能达到94.3%,等以后根据情况多次调整设备,良率还可以再提升几个百分点。
沈院士猛地一拍大腿,声音里满是激动:“94.3%!这良率在国外巨头的生产线上,也是出类拔萃的存在,你们直接一步到位,这不仅是技术突破,更是给龙国半导体产业挣足了底气!”
楚千澜望着屏幕上平稳的良率曲线,指尖轻叩观察窗,眸色沉静却难掩锋芒。
“试产达标只是起点。让技术团队趁热打铁,接下来一周进行连续量产测试,模拟24小时不间断运转,重点监测设备损耗、耗材消耗和良率波动,务必在正式量产前把所有潜在问题都暴露出来。”
王世杰重重点头,笔尖在笔记本上飞速记录:“明白!我这就安排三班倒测试,每两小时记录一次核心参数,同步分析光源衰减、镜头损耗和晶圆传送精度变化,形成完整的量产可行性报告。”
张北光补充道:“我们还准备了三种不同批次的光刻胶和硅晶圆,会在测试中轮换使用,验证设备对不同耗材的适配性,确保量产时不会因原材料批次差异影响良率。”
楚千澜微微颔首,目光扫过车间里忙碌的技术团队,每个人脸上都带着疲惫却兴奋的神色。
从拆解第一台250纳米光刻机到自主研发45纳米放大版产线,两年多的日夜攻关,无数次的参数调整和故障排查,终于换来了此刻的突破。
楚千澜抬手看了看时间,语气带着不容置疑的决断:“连续量产测试期间,让后勤部门全力保障,技术团队轮班休息但必须随时待命。
另外,通知星源探索,优先调配28纳米存储芯片的设计图纸,等45纳米芯片量产稳定后,第一时间进行流片试产,验证多重曝光技术在45纳米产线上的应用。”
张北光眼中闪过一丝炽热,连忙应声:“明白!28纳米存储芯片的设计图纸早已同步给技术团队,我们已提前完成光刻参数适配推演。
按照公司计划,只要45纳米产线稳定运转七天,就可以启动多重曝光技术,测试生产28纳米芯片。”
楚千澜目光落在屏幕上“94.3%良率”的醒目数据上,语气带着几分审慎:“多重曝光技术的测试可以按计划推进,但必须建立在45纳米产线完全稳定的基础上。
确认产线没有问题后,就将45纳米芯片的生产订单转移到这边。那条65纳米的光刻机停用,准备找个买家吧!”
虽说使用多重曝光技术,可以凭借65纳米光刻机生产出45纳米芯片,但不管是良率还是效率,都比不上45纳米产线。
王世杰握着数据平板的手指微微收紧,眼中闪过一丝不舍:“楚总,那条台65纳米光刻机得来不容易,而且在国际上也还算是先进,就这么出售会不会太可惜?”
楚千澜看向正在运转的光刻产线,语气平静却带着长远考量:“设备的价值在于创造效益,而非陈列纪念。45纳米产线稳定后,65纳米光刻机对我们来说就是落后,闲置只会造成资源浪费。”
他顿了顿,补充道:“如同你说的那样,这台设备还比较先进,我们虽然用不到了,但对其他厂商来说,依旧是急需的先进设备!”
沈院士在一旁附和:“楚总说得对,半导体行业技术更新迭代快,旧设备及时变现是明智之举。
我可以帮忙联系几家有需求的厂商,确保设备能发挥最大价值,若是贵公司能提供多重曝光技术,想必很多厂商都愿意溢价收购。”
多重曝光其实并不是什么先进的技术,涉及的专利不多,最关键还是技术人员的手法以及经验。
对拥有先进光刻机的厂商来说,这技术完全没有用;至于产能落后半导体厂商,即便使用了多重曝光技术,降低的良率也会让他们望而止步。
楚千澜指尖轻叩观察窗,眸色沉静:“多重曝光技术可以附带授权,但要单独核算费用。
对那些买不起先进光刻机的中小厂商来说,这技术能让他们用旧设备生产更高制程芯片,算是给他们留条活路,也能为我们多赚一笔技术授权费。”
他很清楚,这技术对深蓝半导体已是过渡方案,但对亟需提升制程的中小厂商而言,却是撬动市场的关键。
与其让技术闲置,不如作为设备附加值提升转让价值。
至于技术泄露,楚千澜并不在意。
多重曝光技术的原理都是公开的,但真正掌握的企业并不多。从学会到掌握,需要耗费大量资源,这可不是一般半导体企业能够承担得起的。
沈院士眼中闪过赞许:“这个思路好!既盘活了旧设备,又能通过技术授权形成二次收益,一举两得。
我认识几家主攻汽车电子和工业控制芯片的厂商,他们正急需65纳米级设备,加上多重曝光技术,溢价30%不成问题。”
楚千澜微微颔首,目光重回45纳米光刻产线的运转画面,淡紫色的极紫外光束如同精准的手术刀,在晶圆上刻画出未来的科技脉络。
“溢价多少不重要,关键是要尽快处理掉。等我们的45纳米光刻产线公开后,65纳米光刻机的价格必然会下降。”
沈院士笑着应下:“放心,我稍后就联系意向厂商,争取一周内敲定转让事宜。现在半导体设备市场供不应求,尤其是高端光刻机,加上多重曝光技术授权,肯定能卖出好价钱。”
楚千澜微微颔首,不再纠结旧设备的转让,转而叮嘱王世杰:“完成光刻产线测试后,还要抽调技术人员继续研发,争取早日将28纳米光刻产线制作出来。”
王世杰重重点头,眼中燃起更盛的斗志:“楚总放心!45纳米产线的成功,已经为我们积累了全套自主研发经验。
28纳米产线的研发,我们已经有了初步计划,半个月后,就会建立专门的项目组!”
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