靠墙是一排排实验台，台上摆着各种仪器设备，示波器、信号源、频谱仪、万用表，整整齐齐，像士兵列队。
最里面是一面巨大的玻璃隔断，隔断后面是洁净区，穿着白色洁净服的人影在里面走动，动作缓慢而谨慎，像在水里行走。
最近的一张实验台上，放着一线军绿色的扫描电镜。
铭牌上刻着“中国科学院北京真空电子技术研究所研制”几行字。
和之前交付的那一台相比，精致了不少，敦实中多了些精密工业之美。
吕辰凑近仔细看了看，仪器的面板上的旋钮和开关布局更加简洁合理，每一个都标着功能，字迹工整。
顾赟声音里带着一丝无奈：“各方面都优化了一下，更易于操作，也更稳定了，但分辨率还是300埃，想突破到100埃，得等下一台了。”
吕辰拿起旁边的操作规程，翻了翻，每一步操作都写得清清楚楚、
“谁写的？”
“我写的。”顾赟说着开机演示。
吕辰对照着步骤过了一遍，确认没问题。
吕辰点点头，拿出本子记录下来。
“带我去看看其他设备。”
顾赟领着他，一台一台地看。
电子显微镜、X射线衍射仪、红外光谱仪、椭圆偏振仪、探针式轮廓仪、四探针电阻率测试仪……
每一台设备都贴着标签，标着名称、型号、生产厂家、安装日期、责任人。
清一色都是国产，清一色都是国防绿涂装，外壳粗糙，旋钮松垮，但运转起来很稳。
有些设备还是比不得进口的，不过只专注核心功能，基本上也能达到要求。
顾赟对每一台设备都如数家珍，参数、性能、使用方法、注意事项，张口就来，没有半点犹豫。
走到一台大设备前面时，二人停了下来。
那是一台一人多高的仪器，也是军绿色的外壳，正面嵌着一块显示屏，显示着一行一行的绿色字符。
旁边有一个操作台，台上放着键盘和轨迹球，球面已经磨得光滑。
这台电子束曝光机，是长光所的又一利器，用来制造光刻掩模版，精度0.5微米。
吕辰走过去，仔细看了看。
仪器的面板上，贴着一张手写的“使用记录表”，上面密密麻麻记着日期、使用者、使用时长、设备状态。
最后一栏是“设备状态”，每一行都写着“正常”，字迹工整，签名清晰。
“谁负责这台设备？”吕辰问。
“戚工。”顾赟喊了一声。
一名穿着洁净服的中年人走了过来，手里拿着一个文件夹。
他从文件夹里抽出一张表格，递给吕辰。
“这台设备娇贵得很，对环境要求特别高。温度波动超过0.5度，它就不稳定；振动稍微大一点，曝光就偏了。我每天早晚各检查一次，记录温湿度和设备参数。”
吕辰接过，是一张设备日常点检表，上面列了几十项检查内容，每一项后面都写着检查结果和检查人签名。
从表格上的记录看，从设备安装到现在，没有一天漏检。
吕辰把表格还给他，又问：“操作人员培训了吗？”
“培训了。”戚工翻开文件夹，“这是培训记录。我们一共培训了12个人，每个人都要通过理论和实操考核才能上岗。考核不过的，继续培训，直到过关为止。”
他把文件夹递过来，吕辰翻了翻。
每一页都贴着考核试卷和实操评分表，红笔批改，分数清清楚楚。
12个人里，有3个人第一次考核没通过，补考后才过关。
补考的那几页，试卷上密密麻麻写满了批注，错在哪儿、为什么错、怎么改，写得明明白白。
吕辰把文件夹合上，还给戚工。
“设备、人员、制度，都没问题。但有一个地方，我想再看看。”
“哪里？”
“洁净区的颗粒物检测记录。”
顾赟点点头：“跟我来。”
他领着吕辰走到洁净区的入口，从墙上取下一本厚厚的记录本，递给他。
“这是洁净区的颗粒物检测记录，每天检测三次，早中晚各一次。检测点位覆盖整个洁净区，每个点位的数据都有记录。”
吕辰翻开记录本，一页一页地看。
数据记录得很详细，日期、时间、检测点位、颗粒物浓度（≥0.5微米、≥5微米）、检测人、复核人，每一项都填得工工整整。
从记录上看，洁净区的颗粒物浓度一直稳定在Class 96的标准以内，有些点位甚至达到了Class 10的水平。
吕辰翻到最后一页，是上个月的汇总表。
表格里统计了所有检测点位的平均值、最大值、最小值，还画了一张趋势图，颗粒物浓度的变化曲线平稳，没有异常波动。
“这个汇总表是谁做的？”吕辰问。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
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