他翻开记录本中间的一页，指着一行数据。
“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
两人出了产品中心，往制造中心走。
三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”
陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。
“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”
陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”
吕辰沿着生产线往前走。
光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。
每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。
再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。
炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。
翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。
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