程序设计可以叫嚣“只有想不到，没有做不到”，但机械设计还真是，你能想到，但基本上办不到。
双工件台的构思说白了，就如曲慧所说的那样，源自华罗庚老先生的统筹方法——就是在等待烧开水的过程中就把茶杯洗干净，茶叶拿出来丢进杯子里，顺便还拧着暖水壶在一旁等着，只要水开，马上就能泡茶，装水，一气呵成。比等水开了再去找茶叶洗茶杯要节约很多时间。
但真要实现起来却不简单，毕竟这是两个工件台的协同配合，而且要保持高速运动下的0.5微米的运动精度——其难度相当于在两架并肩飞行的飞机上，其中一架飞机伸出一根杆子，在对面的机身上刻0.5微米大小的字。
至于为什么曲慧会在取得如此的成果后依旧保持冷静乃至忧虑……苏远山完全能够理解。
因为曲慧刚出校门就进入了远芯，亲自参加了EDA的诞生，又亲眼见证了远芯在各个领域的崛起。
说白了，就是曲慧所参与，所看到的，全是世界顶级的技术成果。
双工件台虽然出来了，却无法给国产光刻机带来本质上的技术飞跃。
她不甘心。
“这样，曲慧姐，我给你指一条方向。”苏远山不知道双工件台技术接下来要具体往哪一边走，但苏远山却知道双工件台的未来在何方。
“嗯？你说什么方向。”
“目前工件台的最大难点还是在于高速运动下所导致的一系列麻烦，所以……如果要把目光瞄准到十年，二十年之后，瞄准到纳米级精度的话，我认为，只有一条路，就是磁悬浮。”
“磁悬浮？”曲慧闻言一怔，直愣愣地望着苏远山。
郑振川也惊讶起来：“小山，磁悬浮能用在工件台上？”
“不是磁悬浮能用在工件台上，而是工件台要摆脱摩擦和阻尼的桎梏，实现超精密运动控制，在现有的自然科学和机械空城的框架下，就只有磁悬浮这一条路。”
曲慧沉默数秒后慢慢点头，喃喃道：“是了，磁悬浮技术可以最大作用地发挥我们的运动控制模块的优势，避开短板。”
“可是，那个难度怕是有点大吧？现在有没有超精密的磁悬浮运动控制案例和方案？”郑振川则想了想，迟疑地问道。
“不知道，但管他呢！”曲慧吸了口气，整个人瞬间振奋了起来，望向苏远山道：“小山，你真觉得那是个方向？”
“我能想到的唯一方向。”苏远山郑重点头。
*
*
有了新方向的曲慧再无心交谈，转而去苏远山的书架翻了一本物理书来看。
见曲慧这模样，苏远山也在心里暗暗发笑——曲慧别看已经三十岁了，可长期以来身处科研一线，身份身家都无与伦比，以至于心态还是小姑娘心态。
“郑叔，怎么说？”苏远山起身给郑振川斟满茶水，笑呵呵地问道：“你别告诉，你是来推销光刻机的。”
“嗯，还真是。”郑振川从刚才苏远山口中的磁悬浮工件台的设想中回过神来，笑着道：“我们拿到了蔡司的镜头和Cymer的KrF光源，接下来就能量产最低0.18微米工艺节点的光刻机了。”
“我靠！”
苏远山眼珠子一瞪，差点没从沙发上弹起来：“怎么拿到的？”
“呵呵，别激动。”郑振川好整以暇地抿了一口茶：“怎么样，要不要来两台？”
“等等！”苏远山马上便清醒过来：“别拿空头支票来忽悠我，先说清楚，什么时候可以可以出厂。”
“最多半年。”
听到这个半年，苏远山又默默地算了一下自家光源的时间，这才慢慢平静下来，笑着骂了一句：“NND，帝国主义亡我之心不死。”
“是啊……但这样好歹能把咱们的光刻机与尼康佳能的距离缩到只有一代了，对吧？”
“嗯，这倒是。”
苏远山含笑望着郑振川，突然越看越觉得这老头有点像“买办”了。
很显然，在这个时候，蔡司和Cymer突然对国产光刻机放行，除了有霓国同行的竞争之外，还有就是有把国内的光源和镜头技术“扼杀”在摇篮的想法。
要知道，他们给的光源和镜头，可不是最先进的……
Cymer都已经搞出193的ArF了，正在想搞EUV或者F2呢。
“不过郑叔，我们已经预定了尼康最先进的DUV光刻机，他们的节点可是能够到65纳米。”苏远山一耸肩，呵呵笑道：“差不多半年。”
“……”郑振川便带着一脸哀怨地看着苏远山：“当初你说好要支持的呢？”
“我当然一直都是支持的，但这事儿我做不了主啊郑叔。你不应该找我，而是应该去找德远的张博士。”
说着苏远山便疑惑起来：“不对，郑叔……无锡那么多晶圆厂，为什么你不去找他们？”
远芯在光刻机，晶圆厂的战略方向一直很明确，就是以保持制程和工艺的领先——换言之就是设备上不能落后。
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