下午两点,长光所主楼二层的大会议室里,坐满了人。
长方形的会议桌旁,“星河计划”光刻组的核心成员与协助单位代表齐聚一堂。
长光所陈光远副所长坐在主位,左侧是宋颜教授、吕辰、谢凯,以及光机所光学部、精密机械部的几位负责人。
右侧则是哈工大的周工、上海机床厂的刘工、武水院的赵工,以及他们所带领的技术骨干。
室内烟雾缭绕,茶香与烟草味混合在一起。
桌上摊满了图纸、技术报告、计算草稿。
每个人的面前都放着一个厚厚的笔记本,钢笔或铅笔夹在指间,随时准备记录。
陈光远清了清嗓子,环视一周:“各位同志,咱们开门见山。今天这个会,就是要确定集成电路制造的工艺路线和技术指标。宋教授带来了清华-红星团队的设计方案,我们光机所这边也把家底亮一亮,大家一起讨论,定个调子。”
他顿了顿,声音沉稳:“咱们的目标很明确:要在下一次百工联席会议,也就是明年四月之前,拿出中国第一块可用的集成电路。不是实验室里的玩具,是能实际工作、能验证设计思想的产品。”
宋颜教授微微颔首,从公文包里取出一个用牛皮纸仔细包裹的文件夹。
他解开系绳,将里面的图纸一份份取出,平铺在会议桌中央。
那是“红星一号”计算器的集成电路设计图。
“这是我团团队历时三个月完成的初步设计。”宋颜教授的声音平静,“考虑到当前国内工艺水平的现实,我们做了两个方案。”
宋颜教授拿起其中一套:“方案一,是理想状态下的单片机方案。将所有功能集成在一块芯片上。包括键盘输入编码、控制逻辑、数据存储、算术运算、输出解码和显示驱动。整个系统需要集成两千多个晶体管。”
图纸上,一个个逻辑门用标准的符号标注,之间的连线如蛛网般密集而有序。
运算器部分被重点标注,那里需要完成加减乘除四则运算,逻辑最为复杂。
会议室里响起一阵低低的吸气声。
两千多个晶体管代表的挑战,不仅仅是设计上的,更是制造上的。
“方案二,”宋颜教授拿起另一套图纸,“是模块化方案。将系统功能分解到四块独立的集成电路上。”
“第一块,输入编码与控制芯片,负责将键盘信号转换为二进制码,并产生基本的控制时序。大约需要五百个晶体管。”
“第二块,数据存储芯片,采用静态随机存储器结构,能暂存中间计算结果。约三百多个晶体管。”
“第三块,算术逻辑单元,这是计算器的核心,完成所有运算功能。设计规模最大,六百余个晶体管。”
“第四块,输出解码与显示驱动芯片,将二进制结果转换为七段数码管所需的驱动信号。规模最小,一百四十个晶体管左右。”
宋颜教授抬起头:“两个方案各有优劣。单片机方案集成度高,理论上性能更好、功耗更低,但对制造工艺的要求也最高。模块化方案虽然需要多芯片协同工作,接口复杂些,但单个芯片的规模小了,制造难度相对降低,也便于测试和调试。”
他看向陈光远:“陈副所长,这两个方案,以长光所目前的光刻能力,哪个更现实?”
所有人的目光转向陈光远。
陈光远戴上老花镜,俯身仔细查看图纸,特别是那些标注了最小线宽、晶体管间距的关键区域。
光学部的张工、精密机械部的王工也凑过来,三人低声交换着意见。
会议室里安静下来,大家点着香烟等着。
五分钟后,陈光远摘下眼镜,揉了揉眉心。
“宋教授,诸位同志,”他语气严谨,“我先说说我们这边的现状。”
他示意张工将一份实验报告分发给大家。
“这是我们最新一批曝光测试的结果。在玻璃基板上,我们目前能稳定实现的线宽是五微米。注意,是‘稳定实现’——指的是成品率能达到百分之六十以上,线条边缘相对整齐,断线率控制在可接受范围内。”
报告上的显微照片被传阅。吕辰接过一张,凑近细看。
照片是在金相显微镜下拍摄的,黑白影像,分辨率不算高,但足以看清细节。
那是一组平行线条测试图形,标尺显示线条宽度约五微米。
线条基本平直,但边缘有细微的锯齿状起伏,像是手绘时笔尖的抖动。
在线条交汇处,有明显的圆角,而不是理想的直角。
“陈副所长,两微米呢?”谢凯忍不住问。
陈光远苦笑:“实验室环境下,偶尔能做到。但成品率不到百分之十,而且批次之间波动极大。可能今天这炉参数调好了,出来几片不错的;明天同样的参数,一塌糊涂。”
他顿了顿,加重语气:“关键在于‘稳定’和‘可重复’。实验室里灵光一现的成功,对工业化生产没有意义。我们要的是今天能造出来,明天还能造出来,下个月、明年还能造出来。”
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