中科院微电子中心出产的0.8微米工艺光刻机,其光源和光电成像照准系统都是光电所的杰作。作为光电所的一把手,赵院长对光刻机也算是大半个行家了。
只一眼,他就认出了这套光刻机的出身。1995年上半年微电子中心,才完成了0.8微米工艺光刻机的研发。产量在那里明摆着,一共也没有生产出多少来。没办法,中科院当幕后老板,国内最有可能向这方面发展的梦幻集团,都放弃了走技术路线。除非国家上马集成电路的大工程,否则根本没有哪个单位吃饱了撑的,会去采购国产光刻机。
国产光刻机的市场占有率,不光是九十年代,哪怕到了二十一世纪也是个悲剧。魔都微电子号称2009年就实现了90nm光刻机的国产,但是后来国内晶圆厂宁愿买国外进口的二手线,也不要他的国产货。
在光刻机上面,为何神奇的兔子能造就白菜定律,却偏偏不起作用了?这一点也不奇怪,因为一是核心设备没掌握,尼康卡你的脖子。二是光刻机的良品率上不去,产品便宜的再多架不住生产成本高。
当然,魔都微电子不管怎么说,总还是做了一猩绩的。周硕虽然心里惋惜,但也明白国产光刻机不行,不是它一家的问题。
总之这年头中科院微电子中心能卖出去的光刻机可谓是凤毛麟角,而其中的光电设备只一眼赵院长就看出来确实是出自自家之手。
不管研究成果如何,这起码说明周硕确实在实打实投入的研究技术。赵院长看向自家产品的眼神,自然也就温柔了许多。
“这套设备说起来,还是我在光电所的时候亲手制作的。”麻友公站在赵院长的身边,感慨的说道:“院子,不论泛翰研究院的水平如何,起码他们确实是在踏踏实实的做技术。就这一点上来说,也不应该对他们太过苛求了。”
“哼。你现在是人家的工人了,当然替东家说话。”赵院长有些傲娇的哼哼着,眼睛却在光刻机上怎么也挪不开。
他收敛了一下脾气,好奇的问道:“这就是你们改进的0.5微米工艺光刻机?究竟做了哪些改进?”
“我们改进了……”麻友公开了个头。突然停顿了一下,无奈的摇头道:“我和研究所签了保密协议的,具体技术不能说。”
“德行。”赵院长撇了麻友公一眼,看的他浑身不自在。没办法,他这一身本身可以说,多半都是来自赵院长的传授。如今老师问他这点问题,自己却表现的好像什么重大机密似的,难免有些心虚。
赵院长却没有多做计较,只是在光刻机前前后后的打着转,就不信自己的眼力还看不出来有什么不同。
其实虽然麻友公这多少算是叛出师门。但赵院长心底里却并不怎么怨他的。一是光电所这些年来,确实有些对不起麻友公。二一个,心里多少也希望自己的徒弟能有一个好的归宿吧。
从这方面来说,他其实也理解麻友公保密的做法。假使改进技术真的有效,这里面涉及到的可是数以亿计的金钱。泛翰研究院是私人公司。当然不可能让人敞开了看。
就在这时,光刻机前的指示灯突然从红色转换成了绿色,并且发出了一道短促的“哔——”声。
一张直径的晶圆盘片,从光刻机里被机械臂稳稳的送了出来。
“这是！”赵院长哪里会不知道这是怎么回事,光刻机里吐出来的晶圆表面上看并没有什么不同,但他知道这已经是经过了光刻的盘片。
此时这张盘片上面的光刻胶,应该已经被蒸发了一部分。只要再把这张盘片送入蚀刻机。就可以根据光刻的路径蚀刻出集成电路。
在场的所有人,除了保安部的安保人员以外,几乎个个都和光刻机系统扯得上关系。自然也就都明白,泛翰研究院是否已经掌握了0.5微米工艺,答案就在这一刻了。
“诸位,我们泛翰研究院究竟有没有掌握0.5微米工艺技术。大家此时此刻可以拭目以待了！这张单晶硅晶圆是我们改造之后的第一次光刻,我请你们记住1995年10月7日这个光荣的日子……”
周硕几乎是虔诚的,把晶圆从光刻机转移到蚀刻机上面,并且毫不迟疑的启动了蚀刻程序。
只是此时此刻,似乎所有人都已经忘记了他们的初衷。只是全神贯注的看着那薄薄的单晶硅晶圆。心中却已经有些相信泛翰研究院已经实现了0.5微米工艺。
问题很简单,若非是有十足把握,周硕又怎么有这个勇气,在众人面前完成蚀刻程序?甚至有的人心里已经打起了小算盘,按照国内的传统,说不定是已经有了成功经验之后,才玩的这个出炉把戏吧。
不管如何,周硕胸有成竹的模样,都让他们的态度在不自觉间发生了变化。
和光刻程序比起来,蚀刻的速度就快多了。几分钟之后,酸液已经把没有光刻胶覆盖的地方,腐蚀出了只有零点零几微米的微痕。微小到不论是人的肉眼、或者是普通的放大镜都无法发觉的地步。
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