我已经随芯所欲了

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第一百三十九章 晶圆切割裂纹异常

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“我也这样怀疑!”谢剑风说道。

“粗磨选用325#的磨轮,没有错,不过粗磨过后形成的损伤层大约为20μm左右,粗糙度约为1.5μm,精磨使用900#的磨轮,其损伤层大约为5μm左右,粗糙度约为0.5μm,这样的高低不平纹路,会造成应力集中,使后续工艺划片产生裂纹,我建议精磨采用2500#磨轮试试,假片做完之后测量一下翘曲度,如果翘曲度小于200μm,你们安排切割验证。”辛佟非常自信地说道。

这个辛佟真是太逆天了,对减薄工序的了解绝对在谢剑风之上啊,罗高工听了直点头,说道:“很好!”

“好的,辛经理,我们按照你的要求再做一些假片验证!”谢剑风点了点头。

他之前跟辛佟没有交集,不过听说过这个人,总觉得辛佟升职太快了,真没有想到他竟然如此专业,今日一见,佩服得五体投地。

看着工程部老大和ws天王对辛佟的分析连连点头,姜华也惊呆了,这么说老同学的本领已经超过这些顶级高手了?

关键是他都没有在晶圆减薄工序呆过一天啊!

昨天去减薄看了一眼,他就无师自通了?

从会议室里出来,姜华拉住了辛佟,忍不住问道:“老同学,你不是干键合出身的吗?怎么对减薄也这么精通?”

辛佟笑了笑,要不是刚才咨询张凯峻,他也一头雾水。

不过,他不想将这件事告诉姜华,就随便忽悠道:“键合工序是王者工序,你干了键合再看其他工序,都很low了。”

不是说隔行如隔山吗?

老实说他姜华统管fol所有生产工序,也看过减薄、切割、装片和键合,发现不同的工序之间差异其实还挺大的。

“是吗?”姜华心中是将信将疑。

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