他的声音拔高了一些。
“领跑的人，不能等着别人告诉你往哪跑。领跑的人，要自己看路。”
他从桌上拿起一份文件，翻开，念了一段。
“第三期技术攻关，不设方向，不设范围。理论、材料、工艺、设备、设计、封测……不限方向，不限规模。各成员单位自行拟定课题，报星河计划指挥部备案。”
他合上文件，看着台下。
“唯一的条件是，每个课题，必须回答三个问题。”
他竖起一根手指。
“第一，这个课题，是亚微米工艺的瓶颈吗？”
竖起第二根手指。
“第二，两年之内，你能拿出什么？”
竖起第三根手指。
“第三，你做不出来，谁还能做？”
礼堂里安静得能听见日光灯镇流器的嗡嗡声。
刘星海教授放下手，声音沉了下来。
“报上来的课题，指挥部不设限，不砍预算。但有一条：谁报的课题，谁立军令状。两年之后，我们坐在这里，一件一件地验收。做出来的，有功。做不出来的，有说法。”
他目光扫过全场。
“同志们，从今天起，星河计划进入新阶段。以前是‘你们告诉我该干什么’，现在是‘你们告诉我你们要干什么’。有没有问题？”
没有人说话。
“好。下面，把时间留给大家，各组都上来谈谈，我们要做些什么。”
首先是理论组。
陈教授走上讲台，手里拿着一个厚厚的文件夹。
“理论组，主要做三件事。第一，昆仑汇编语言的设计，目前已经订了框架。第二，汉字编码设计，目前第一版3500个汉字已完成编码设计。第三，星河计划各相关微程序、数据库等设计，这是长期工程，随需而定。”
他在黑板上写了几行字。
“昆仑汇编语言，旨在统一助记符、寻址方式、指令格式等，为星河计划的微程序奠定基础，我们将联合全国12家单位，用两年时间，进行此项工作。一旦设计完成，星河计划的任何一台机器，不管是大到昆仑系列计算机，还是小到工业计算机，都用同一套汇编语言。工程师写一套代码，能在所有昆仑机上跑。”
他合上文件夹。
“汇编语言定稿之后，该项工作的重心将转向两件事：第一，编译器的研制；第二，操作系统的移植和优化。这两件事，都需要各单位的配合。”
……
陈教授汇报完，台下有人举手提问，陈教授一一回答。
接着是材料组。
半导体所的王守仁走上讲台，手里拿着一块硅片样本，在灯光下举起来，让台下的人看。
硅片表面光滑得像镜子，在灯光下泛着银灰色的光泽。
“材料组的主要工作，是提高高纯度硅单晶的批量生产能力。目前，2微米工艺用的硅片，纯度稳定在7N以上，直径3英寸，厚度400微米，翘曲度小于10微米。”
他把芯片放在桌上，翻开笔记本。
“下一步的目标，是8N纯度和4英寸直径。这是亚微米工艺的基础材料要求，我们已经启动预研。难点有两个，一是区熔工艺的均匀性，二是切片加工的表面损伤控制。预计明年年底之前，拿出合格样品。”
工艺组，6305厂的陈光远站起来，手里拿着一沓厚厚的报告。
“目前，2微米工艺已经全线贯通，良率稳定在65%以上。下一步的任务，是向1微米、0.8微米、0.5微米推进。”
他在黑板上画了一张技术路线图。
“我们的计划是三步走。第一步，明年年底之前，攻克1微米工艺。关键设备是新一代光刻机，工作台精度要从0.1微米提升到0.05微米，长光所已经在做了。第二步，后年年底之前，攻克0.8微米工艺。这一步的关键是光刻胶和掩模版的精度，上海感光厂和中科院感光化学所联合攻关。第三步，大后年年底之前，攻克0.5微米工艺。这一步需要电子束光刻机，我们已经和真空所、哈工大启动了联合预研。”
他在每一条后面都标注了时间节点和责任人，条理清晰，一目了然。
光刻组，长光所的王高工走上讲台，一叠纸夹在腋下。
“光刻机的事，我来说几句。”
他的声音不大，但每个字都很有力。
“2微米光刻机GCA-301CGS，已经技术稳定量产。1微米光刻机，工作台精度需要0.05微米，曝光波长365纳米，物镜数值孔径0.4，这些指标都已经在实验室里跑通了。现在卡在批量制造的良率上，预计今年年底之前解决。”
他在黑板上画了一个简图。
“下一步，是0.8微米光刻机。这一步跨度很大，需要电子束或者深紫外。我们倾向于两条腿走路：电子束光刻机用于掩模版制造和少量高精度芯片，深紫外光刻机用于批量生产。电子束这边，已经做出原理样机了。深紫外这边，正在攻关248纳米准分子激光器。”
本小章还未完，请点击下一页继续阅读后面精彩内容！
喜欢四合院：我是雨水表哥请大家收藏：(m.xtyxsw.org)四合院：我是雨水表哥天悦小说网更新速度全网最快。