1965年1月19日。
吕辰站在6305厂动力中心的楼顶,手里夹着一只大前门,望着远处1号厂房灰白色的外墙。
燕山吹来的北风,刮得人脸生疼。
他在这里站了快十分钟,烟卷在指间燃尽,烫了手指才回过神。
楼下,管廊工地的焊光还在闪烁,工人们裹着军大衣,在零下十三度的寒风里铺设最后一段特种气体管道。
焊接的青烟被风撕成碎片,转眼散尽。
一切都在按计划推进。
光刻机初步调平,长光所王工的团队在洁净区,像伺候瓷器一样伺候那台机器,每天进门前要过三道风淋,手套换三双。
涂胶显影机的第一组模块前天运抵,正在开箱验收。
哈工大包康健教授派来的三位工程师蹲在箱体旁,用水平仪一点一点找基准,忙了整整两天,还没敢往基座上落。
扩散炉的炉体已经到了北京站,押运员打来电话说,铁路调度出了点问题,要晚两天才能送进厂。
动力中心的王工程师正在和运输科扯皮,声音从电话听筒里穿透出来,整个调度室都听得见。
超纯水系统的终端已经完成哈氏合金管件更换,第一批试运行的水样送去分析,电阻率18.2,达标。
一切都在向前走。
但有一件事,静得像冻住了。
吕辰从楼顶下来,来到厂办指挥部办公室,拨通了真空所的电话。
总机转了快三分钟,才接到顾赟的分机。
“顾工,我是吕辰。”
电话那头沉默了两秒。
“吕工。”顾赟的声音很轻,像压着什么东西,“你……是为电镜的事?”
“样机怎么样了?”
又是一阵沉默。
吕辰听见电话那头有人走动,门关上的声音,然后是顾赟压低了的、几乎是从牙缝里挤出来的话:“样机做出来了。”
他顿了一下:“但是……效果差太远。”
“差多少?”
“设计指标是100埃。我们测了三轮,最好的结果是500埃。”顾赟的声音发紧,“文教授、吴教授、林教授、李总工……已经一个月没怎么合眼了。昨天晚上吴教授在示波器前面坐着,坐了两个小时,什么都没说,后来我扶他回去休息,他血压都到一百八了。”
吕辰握电话听筒的手指节节泛白。
“我知道了。”
挂掉电话,吕辰闭上眼睛。
芯片制造,是看不见摸不着的工艺。
光刻要对准,薄膜要测厚,刻蚀要看形貌,掺杂要看深度,键合要看界面。
没有电镜,这一切全是盲人摸象。
你可以把光刻机调得再平,把超纯水的电阻率提到18.3,把洁净车间的尘埃粒子压到个位数,但只要你看不见那些微米级的沟槽、亚微米级的缺陷、纳米级的氧化层,你就永远不知道自己做对了没有,错在哪里。
6305厂的工艺调试,需要的不是500埃。
是100埃以下。
甚至,未来的某一天,是50埃、20埃、10埃。
吕辰睁开眼睛,拨通了刘星海教授的电话。
下午三点,吕辰站在刘星海教授办公室门口,还没敲门,里面就传来声音:“进来。”
刘星海靠在椅子里,手里拿着那份1962年星河计划第三次会议纪要的复印件,翻到第三页。
那一页上,白纸黑字,写着:“电子光学仪器攻关协作组任务分工。”
北京大学:电子光学理论、电磁透镜设计、系统总体方案;
清华大学:机械结构设计、自动控制系统、总装集成与测试;
北京电子管厂:电子枪试制、高压电源、部分真空部件;
北京真空电子技术研究所:真空系统设计与集成、样品室、工艺经验支持;
长春光机所:精密光学机械加工;
红星工业研究所:控制电路、信号处理、项目协调与资源保障;
工业学院文昭南教授团队:信号检测理论与方案、跨单位技术衔接。”
刘星海把纪要放下,摘下老花镜,慢慢擦拭镜片。
“电镜的事,我知道了。”
他没有看吕辰,目光落在窗外灰蒙蒙的天际线上。
“你打算怎么办?”
吕辰把在真空所电话里听到的情况,一五一十说了。
工业学院的文昭南教授,北大物理系电子系吴教授,清华电子系林教授、北京电子管厂的李总工,真空所的工程师顾赟。
这些人,从1962年冬天起,就背着“电镜组”的担子。
三年了。
吕辰汇报完,办公室里安静了很久。
刘星海慢慢把老花镜戴上。
“你打算派谁去?”
“我申请组织一次专家会诊。”吕辰说,“由6305厂牵头,把参与电镜研制的所有单位、以及星河计划里相关领域的专家,全部请到真空所去。在现场看机器,听问题,分头把脉,逐条开方。”
他顿了顿:“这不是哪个环节出了孤立故障。这是整套系统走到极限之后,暴露出来的、深埋在技术体系里的结构性难题。必须多兵种联合作战。”
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