最早称为土地爷的是汉代蒋子文。据《搜神记》卷五曰：“蒋子文者，广陵人也。……汉末为秫陵尉，逐贼到钟山下，贼击伤额，因解缓缚之，有顷刻死，及吴先主之初，其故吏见文于道，乘白马，执白羽，侍从如平生。见者惊走。文追之，曰：‘我当为此土地神，以福尔下民。尔可宣告百姓，为我立祠。不尔，将有大咎。’……于是使使者封子文为中都侯，……为立庙堂转号钟山为蒋山。”此后，各地土地神渐自对当地有功者死后所任，且各地均有土地神，据清赵翼《陔余丛考》卷三五称沈约为湖州鸟镇昔静寺土地神，岳飞为临安太岳土地神。 清人赵懿在《名山县志》中称土地神不一，有多种名目，其中有花园土地，有青苗土地，还有长生土地(家堂所祀)，又有拦凹土地，庙神土地等。
土地神崇奉之盛，是由明代开始的。明代的土地庙特别多，这与皇帝朱元璋有关系。《琅讶漫抄》记载说，朱元璋“生于盱眙县灵迹乡土地庙”。因而小小的土地庙，在明代倍受崇敬。如《金陵锁事》称建文(1399-1403年)二年(1400年)正月，奉旨修造南京铁塔时，在塔内特地辟一“土地堂”，以供奉土地爷。又《水东日记》称当时不仅各地村落街巷处有土地庙，甚至“仓库、草场中皆有土地祠”。
土地神的形象大都衣着朴实，平易近人，慈祥可亲，多为须发全白的老者。一般土地庙中，除塑土地神外，尚塑其配偶，惜称“土地奶奶”，与土地神共受香火供奉，没有特殊职司。，玉皇在其诞辰日的下午回鸾返回天宫。是时道教宫观内均要举行隆重的庆贺科仪。
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