为了活命我把自己上交了

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Chapter020 这个硅片~它又大又圆

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书接上回~~

利用提拉法制造的硅棒可以决定晶圆的尺寸。

要大晶圆就拉粗点,短点,要小晶圆就拉细点长点……(好像有点不太对的感觉……是什么?!!)

硅棒直径和提拉速度可以利用溶液、硅棒与辐射热量三者之间的热平衡进行估算。

举个栗子,12英寸的晶圆硅棒有1.5米长,就需要拉8小时。

之后就是将硅棒切成硅片,送晶圆厂造芯片。

有人会说,你这硅片和晶圆变来变去的到底是什么意思啊,一会说晶圆一会儿说硅片,这不是同一个东西吗?!

其实硅片、晶圆还有芯片三者的关系可以说是爷爷、父亲和儿子的祖孙关系。

硅片就是光秃秃的晶圆,需要经过一系列光刻、外延、刻蚀等加工变成含有数百枚芯片的晶圆,之后再进行切割封装就变成了一枚枚芯片。

用形象点的比喻就是硅片是烤肉架上的烤肉,滋滋冒油~晶圆就是撒上了孜然、辣椒粉、和盐等各种佐料的烤肉,香味扑鼻忍不住口水哗哗流。

芯片就是烤好的肉被大师傅片出来一片装盒……

(饿了的请举手!?(ˊ?? ? ??ˋ)忽然想去吃烤肉…… )

从硅棒到硅片,最少要经过十个步骤。

第一、截断。硅棒要掐头去尾,因为制作工艺的原因,硅头硅尾是不规则形状。这部分如果质量好就会被制成晶体条,用来拉出新的硅棒。算是实现了硅棒生产的无限套娃~~~

之后是探查棒身电阻率,检查轴向的杂质浓度是否异常,之后再截成三十厘米左右的硅段。

第二、滚磨。就是把硅段打磨。

因为硅的硬度很强,高达9.5,是仅次于天然金刚石和天然莫氏硬度更高的陨石。打磨工具就是用金刚石制造。

其次,提拉法制造的硅棒不是完美的圆柱体,所以我们想要得到标准尺寸也必须打磨。

硅段和金刚轮剧烈摩擦会大量发热,所以需要持续加水降温。之后还要在硅段上磨出定位边,确保光刻机对晶圆进行光刻时候精准对位。

第三、切片。打磨好的硅段就要切片,变成硅片。一般使用内圆切割机。

就像带有环形刀片的狗头铡(来人啊,狗头铡伺候!!)

优点是切割面平整,效率稳定,缺点是效率低,耗损多。因为一次只能切一片……

还有一种方法是使用金刚砂线切割机,优点是切割效率高,损耗低。缺点是切割面不平整,需要花更多时间打磨。

第四、打磨。正面打磨,背面做磨砂处理,为之后的工序做充分准备。

第五、倒角。用倒角机把打磨好的硅片直角磨成圆弧形。因为硅是一种脆度很高的材料,这样做是为了避免硅片边缘发生崩裂风险。

同时为后面涂抹光刻胶做准备,因为光刻胶是用旋转方式涂抹在硅片上的,如果硅片是直角,光刻胶就会因为离心力淤积在硅片边缘处,造成厚度不均,从而影响光刻。

还有在做外延生长时候,沉积物也会优先堆积在直角边,影响沉积效果,而圆弧状的角可以消除边缘沉积现象。

第六、精磨。做好倒角后给硅片再做一次打磨去掉一些厚度,让硅片更加光滑。

第七、刻蚀。使用化学溶剂对硅片进行化学刻蚀(氢硝酸和氢氟酸)腐蚀掉表面20-50微米的厚度,祛除之前打磨过程中,硅片累积的机械损伤以及混入硅片表面的磨料。

到此,经过一系列操作的硅片表面已经很光滑了,但用来制造芯片还是不够光滑。

光刻的图像尺寸和精度都是纳米级别,所以要求硅片的表面就是一个完美的平面,一点点起伏层次都会影响光刻效果。

第八、化学机械抛光。为了达到制造芯片用晶圆那变态极致的平滑,使用物理和化学结合的抛光手段。具体做法就不说了,只简单举个栗子。

在12英寸的硅片上,光滑面达到的效果就如同你在电影院里看到那种IMAX屏幕影布上只有一根头发丝粗细的起伏。

(来啦!来啦!!吐槽又来啦!!不知道手搓党造出世界最先进的0.2、0.1纳米级别的芯片时候用的是什么技术?!很多小说的主人公可都是孤儿哇,没爹没娘的,哪儿来的钱搞这些东西。有渠道的话……氢硝酸和氢氟酸可都是剧毒物质啊!没有完美的防护措施,要用手来做吗?)

第九、湿法清洗。抛光后的硅片会放入去离子水中清洗,去掉硅片表面残留的各种化学溶剂、尘埃、杂质等。

这些杂质颗粒物会影响芯片的制造流程,造成器件的短路或开路。

第十、检测、包装。经过平整度、清洁度、翘曲度、氧含量、金属残余量、电镜检测、光学散射等等的一系列检测之后,硅片会被装入充满氮气的密封盒子里送到晶圆厂开始新的旅程。

以上就是硅棒变身硅片的全部过程,充满了惊险刺激。

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